Journal: 한국소음진동공학회지
Year: 2001
Author: 허진욱, 권태종, 정진태, 한창수, 안강호
Vol,No,pp: 11 (4) : 31-36
26.pdf (363KB, DN:9)
회전박막제조기의 진동 및 입자발생이 박막제조에 미치는 영향에 관한 연구  

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